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      微細精密切割鉆孔系統
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      皮秒激光全自動晶圓劃片機
      皮秒激光全自動晶圓劃片機
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      型號:Honor series 6040


      晶圓劃片效果圖:

      2016042814421692573.jpg


      行業應用:

      半導體集成電路,包括單雙臺面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片,單雙臺面可控硅晶圓切割劃片,砷化鎵,氮化鎵,IC晶圓切割劃片。



      機器優點:

      1、采用皮秒激光器、定制聚焦頭, 聚焦光束直徑小到3μm,切割道僅需10μm,切縫窄,更多的芯片出片率,無熱效應,對芯片電路無損傷。

      2、劃片速度高達500mm/s, 對于厚度1mm內樣品,激光劃線僅需一次即可折斷。

      3、CCD視覺預掃描&自動抓靶定位、最大加工范圍650mm×450mm、XY平臺拼接精度≤±3μm

      4、無錐度切割、最小崩邊3μm, 邊緣光滑。

      5、支持多種視覺定位特征,如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等。

      6、8年激光微細加工系統研發設計技術積淀、性能穩定、2萬小時無耗材。

      7、機械手全自動上下料系統,節省人力成本。


      皮秒激光劃片原理(透明材料內聚焦爆裂切割):

            通過貝塞爾或DOE光學系統,把高斯激光光束壓縮到衍射極限,在100-200KHz高重復頻率、10ps極短脈寬的激光束作用下,聚焦光斑直徑小至3μm,具有非常高的峰值功率密度,其在透明材料內部聚焦時,瞬間氣化該區域材料從而產生一個氣化帶,并向上下兩表面擴散形成非線性裂紋,從而實現對材料的切割分離。常見的透明材料包括玻璃、藍寶石和半導體硅片(紅外輻射是能夠透射半導體硅材料的)都是適宜用皮秒&飛秒激光劃片加工的。



      技術規格參數

      序號項目技術參數
      光學單元
      1激光器類型1064nm  10ps  200KHz
      2冷卻方式恒溫水冷
      3激光功率50W
      4光束質量M2<1.3
      5聚焦方式&加工頭數單點聚焦鏡、單頭
      6最小聚焦光斑直徑

      Ф3μm

      激光加工性能
      7加工速度100~1000mm/s可調
      8最小崩邊3μm
      9最大加工材料厚度1mm
      10最大加工尺寸&精度12inches, ±5μm
      機械單元
      11機床結構龍門式
      12機床運動軸數&種類最多8軸,  X,Y,  Z, &θ軸
      13平臺最大行程&速度650mm×450mm
      1000mm/s
      14運動平臺重復精度

      ±1μm

      15運動平臺定位精度

      ±3μm

      軟件控制單元
      16激光加工&平臺控制Strongsoft, Strongcut
      17加工文件導入格式Dxf, Plt, DWG, Gebar
      18CCD視覺定位軟件AISYS Vision
      19CCD視覺定位精度±3μm
      電器單元
      20PLC控制器Panasonic
      21真空系統真空泵
      22除塵&集塵系統專業粉塵過濾集成凈化機
      自動化單元
      23自動上下料系統X\Z軸+可移動上下料平臺
      安裝環境
      24整機供電&穩壓器功率220V\380V,6KW
      25壓縮空氣壓強

      0.6MPa

      26無塵室等級10000
      27地面承重 2T/m2
      28保護氮氣高純氮





      事業部負責人:


      吳先生 13686046555

       

      王先生? 18617211708


      劉小姐 15989907208


      E-mail:yf@stronglaser.com


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